เซ็นเซอร์แบบคาปาซิแตนซ์หรือเซ็นเซอร์แบบไดอิเล็กทริกใช้ค่าคาปาซิแตนซ์ในการวัด ค่า สภาพยอมทางไฟฟ้า ของตัวกลางโดยรอบ โครงสร้างคล้ายกับโพรบวัดนิวตรอนโดยมีท่อเข้าถึงที่ทำจากPVCติดตั้งอยู่ในดินโพรบยังสามารถออกแบบเป็นแบบโมดูลาร์ (คล้ายหวี) และเชื่อมต่อกับเครื่องบันทึกข้อมูลได้ หัววัดประกอบด้วยวงจร oscillator ความถี่ถูกกำหนดโดยอิเล็กโทรดวงแหวนตัวเก็บประจุแบบ fringe-effect และค่าคงที่ไดอิเล็กทริกของดิน เซ็นเซอร์แบบคาปาซิแตนซ์แต่ละตัวประกอบด้วยวงแหวนโลหะสองวงที่ติดตั้งอยู่บนแผงวงจรในระยะห่างจากด้านบนของท่อเข้าถึง วงแหวนเหล่านี้เป็นคู่ของอิเล็กโทรด ซึ่งทำหน้าที่เป็นแผ่นของตัวเก็บประจุ โดยมีดินทำหน้าที่เป็นไดอิเล็กทริกอยู่ตรงกลาง แผ่นเหล่านี้เชื่อมต่อกับ oscillator ซึ่งประกอบด้วยตัวเหนี่ยวนำและตัวเก็บประจุ สนามไฟฟ้าที่สั่นจะถูกสร้างขึ้นระหว่างวงแหวนทั้งสองและแผ่ขยายเข้าไปในตัวกลางดินผ่านผนังของท่อเข้าถึง ตัวเก็บประจุและ oscillator จะสร้างวงจร และการเปลี่ยนแปลงในค่าคงที่ไดอิเล็กทริกของตัวกลางโดยรอบจะถูกตรวจจับโดยการเปลี่ยนแปลงในความถี่ในการทำงาน เซ็นเซอร์วัดค่าความจุไฟฟ้าได้รับการออกแบบให้เกิดการสั่นด้วยความถี่เกิน 100  เมกะเฮิร์ตซ์ภายในท่อเข้าถึงในอากาศอิสระ เอาต์พุตของเซ็นเซอร์คือการตอบสนองความถี่ของค่าความจุไฟฟ้าของดินอันเนื่องมาจากระดับความชื้นในดิน

• การประยุกต์ใช้หนึ่งของอุปกรณ์ดังกล่าวคือการวัด ปริมาณ น้ำในดินโดยปริมาณน้ำในปริมาณดินทั้งหมดจะมีอิทธิพลอย่างมากต่อค่าคงที่ไดอิเล็กตริกของดิน เนื่องจากค่าคงที่ไดอิเล็กตริกของน้ำ (80) มีค่ามากกว่าส่วนประกอบอื่นๆ ของดินมาก (ดินแร่: 4, สารอินทรีย์: 4, อากาศ: 1) เมื่อปริมาณน้ำในดินเปลี่ยนแปลง หัววัดจะวัดการเปลี่ยนแปลงของค่าความจุเนื่องจากการเปลี่ยนแปลงของค่าคงที่ไดอิเล็กตริก ซึ่งสามารถเชื่อมโยงโดยตรงกับการเปลี่ยนแปลงของปริมาณน้ำได้ ปัจจุบันเซ็นเซอร์วัดค่าความจุถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการวางแผนการชลประทานในภาคเกษตรกรรมทั่วโลก
• การตรวจสอบการบ่มของวัสดุคอมโพสิต : เซ็นเซอร์ไดอิเล็กทริกหรือเซ็นเซอร์ความจุถูกใช้เพื่อวัดการตอบสนองทางไฟฟ้าของเรซินเทอร์โมเซต และเมทริกซ์ของวัสดุคอมโพสิตที่ความลึกที่กำหนดบนพื้นผิวเซ็นเซอร์ แบบจำลองหลักที่เกี่ยวข้องกับการใช้เซ็นเซอร์เหล่านี้คือแบบจำลองสนามไฟฟ้า ความสอดคล้องระหว่างคุณสมบัติทางไฟฟ้าของวัสดุภายในสนามและการวัด (เช่น ความจุ) เป็นพื้นฐานในการตีความค่าที่อ่านได้จากเซ็นเซอร์ไดอิเล็กทริก
• การวัดระยะห่างปลายใบพัดในการทดสอบเครื่องจักรเทอร์โบ^{[ 1 ]}
• เซ็นเซอร์วัดค่าความจุยังสามารถใช้ในการวัดระดับของวัสดุแข็งบางชนิดในโครงสร้างต่างๆ เช่น ถังพักหรือไซโลได้อีกด้วย

• เซ็นเซอร์โดเมนความถี่เครื่องมือวัดปริมาณความชื้นในดิน