การแทรกสอดแบบสแกนความสอดคล้อง (CSI)เป็นวิธีการวัดพื้นผิวด้วยแสงประเภทหนึ่ง ซึ่งการระบุตำแหน่งของแถบการแทรกสอดในระหว่างการสแกนความยาวเส้นทางแสงช่วยให้สามารถกำหนดลักษณะพื้นผิว เช่น ลักษณะทางภูมิประเทศ โครงสร้างฟิล์มโปร่งใส และคุณสมบัติทางแสงได้ ปัจจุบัน CSI เป็น เทคนิค กล้องจุลทรรศน์แบบแทรกสอด ที่ใช้กันมากที่สุด สำหรับการวัดลักษณะทางภูมิประเทศของพื้น ผิว ^{[ 1 ]} คำว่า "CSI" ได้รับการยอมรับโดยองค์การมาตรฐานสากล ( ISO ) ^{[ 2 ]}

เทคนิคนี้ครอบคลุมถึงแต่ไม่จำกัดเฉพาะเครื่องมือที่ใช้แหล่งกำเนิดแสงที่มองเห็นได้ในช่วงความถี่กว้าง ( แสงขาว ) เพื่อให้ได้การระบุตำแหน่งของแถบการแทรกสอด CSI ใช้การระบุตำแหน่งของแถบการแทรกสอดเพียงอย่างเดียวหรือร่วมกับการ วัดเฟส ของแถบการแทรกสอดขึ้นอยู่กับประเภทของพื้นผิว ความสามารถในการทำซ้ำของลักษณะพื้นผิวที่ต้องการ และความสามารถของซอฟต์แวร์ ตารางด้านล่างรวบรวมคำศัพท์ทางเลือกที่สอดคล้องกับคำจำกัดความข้างต้นอย่างน้อยบางส่วน