FSI International, Inc. ( FSI ) เป็นบริษัทผู้ผลิตสัญชาติอเมริกัน ตั้งอยู่ที่เมือง Chaska รัฐมินนิโซตาซึ่งจัดจำหน่ายอุปกรณ์ประมวลผลที่ใช้ในการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ รวมถึงอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

ประวัติความเป็นมาของบริษัทเริ่มต้นจากการก่อตั้งบริษัท Fluoroware, Inc. ในปี 1966 ซึ่งเป็นบริษัทที่ผลิตอุปกรณ์ยึดแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนให้อยู่กับที่ระหว่างกระบวนการต่างๆ ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เมื่อได้รับการร้องขอให้1ออกแบบเครื่องอบแห้ง ผู้บริหารของ Fluoroware จึงตกลงและก่อตั้ง FSI International ในปี 1973 เพื่อทำการตลาดผลิตภัณฑ์ใหม่นี้

ผลิตภัณฑ์ของบริษัทได้ขยายตัวเพื่อตอบสนองความต้องการของตลาดสำหรับอุปกรณ์ที่ใช้ในการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ในช่วงทศวรรษ 1990 บริษัทได้ย้ายจากโรงงานเดิมที่มองเห็นทะเลสาบเฮเซลไทน์ไปยังสถานที่ที่ใหญ่กว่าในบริเวณใกล้เคียง

ในปี พ.ศ. 2542 FSI International ประกาศข้อตกลงเพื่อเข้าซื้อกิจการ YieldUP International Corp. ^{[ 1 ]}ในเดือนตุลาคม พ.ศ. 2555 Tokyo Electronได้เข้าซื้อกิจการ FSI International, Inc. และเปลี่ยนชื่อแผนกเป็น TEL FSI ^{[ 2 ] [ 3 ]}

FSI International จัดหาอุปกรณ์ทำความสะอาดเวเฟอร์โดยใช้เทคนิคทางเคมีแบบเปียก แบบไครโอเจนิกหรือแบบอื่นๆ^{[ 4 ] [ 5 ] [ 6 ] [ 7 ]}บริษัทฯ ยังจำหน่ายระบบไมโครลิโทกราฟี โดยใช้กระบวนการโฟโตเรซิสต์ ^{[ 8 ]}บริษัทฯ ให้บริการอัปเกรด เปลี่ยน และบริการสนับสนุนอื่นๆ อุปกรณ์หลัก 5 ซีรีส์ที่บริษัทฯ ผลิต ได้แก่ ZETA, ORION, ANTARES, POLARIS และจนถึงปลายปี 2024 คือ MERCURY ในช่วงหลายปีก่อนหน้านี้ บริษัทฯ ยังผลิตระบบประมวลผล SATURN, TITAN และ NEPTUNE ด้วย ในช่วงปลายปี 2024 บริษัทฯ ได้ขายสินทรัพย์และสิทธิ์การผลิต MERCURY ให้กับบริษัท Shellback ผลิตภัณฑ์บางส่วนของบริษัทฯ ได้แก่ ระบบทำความสะอาดแบบพ่น ระบบทำความสะอาดเวเฟอร์เดี่ยว ระบบประมวลผลแบบไครโอเจนิก และระบบทำความสะอาดแบบจุ่ม^{[ 9 ]}

• เว็บไซต์อย่างเป็นทางการของ FSI International