การสแกนแบบเน้นคุณลักษณะ (Feature-oriented scanning : FOS) เป็นวิธีการวัดภูมิประเทศของพื้นผิวอย่างแม่นยำด้วยกล้องจุลทรรศน์แบบหัววัดสแกนโดยใช้คุณลักษณะของพื้นผิว (วัตถุ) เป็นจุดอ้างอิงสำหรับการยึดหัววัดของกล้องจุลทรรศน์ ด้วยวิธี FOS นั้น เมื่อเคลื่อนที่จากคุณลักษณะหนึ่งไปยังอีกคุณลักษณะหนึ่งที่อยู่ใกล้เคียงกัน จะสามารถวัดระยะห่างสัมพัทธ์ระหว่างคุณลักษณะเหล่านั้นและภูมิประเทศของบริเวณใกล้เคียงได้ วิธีนี้ช่วยให้สามารถสแกนพื้นที่ที่ต้องการบนพื้นผิวทีละส่วน แล้วสร้างภาพรวมทั้งหมดขึ้นใหม่จากส่วนที่ได้มา นอกจากที่กล่าวมาแล้ว ยังสามารถเรียกวิธีการนี้ด้วยชื่ออื่นได้เช่นกัน คือ การสแกนแบบเน้นวัตถุ (Object-oriented scanning: OOS)

องค์ประกอบทางภูมิประเทศใดๆ ที่มี ลักษณะคล้ายเนินเขาหรือหลุมในความหมายกว้างๆ อาจถือได้ว่าเป็นลักษณะพื้นผิว ตัวอย่างของลักษณะพื้นผิว (วัตถุ) ได้แก่อะตอมช่องว่างระหว่างอะตอมโมเลกุลเม็ดฝุ่นอนุภาคนาโนกลุ่ม อนุภาค ผลึก จุด ค วอน ตัม เกาะ นาโน เสารูพรุน ลวดนาโน สั้น แท่งนาโนสั้น ท่อนาโนสั้นไวรัสแบคทีเรียออร์แกเนลล์เซลล์เป็นต้น

FOS ได้รับการออกแบบมาเพื่อการวัดลักษณะพื้นผิวที่มีความแม่นยำสูง (ดูรูป) รวมถึงคุณสมบัติและลักษณะพื้นผิวอื่นๆ นอกจากนี้ เมื่อเปรียบเทียบกับการสแกนแบบดั้งเดิม FOS ยังช่วยให้ได้ความละเอียดเชิงพื้นที่ที่สูงกว่า ด้วยเทคนิคต่างๆ ที่ฝังอยู่ใน FOS ทำให้ความผิดเพี้ยนที่เกิดจากการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิและการคืบคลานถูกกำจัดออกไปได้เกือบหมด

FOS มีขอบเขตการใช้งานดังต่อไปนี้: การวัด พื้นผิว , การกำหนดตำแหน่งหัววัดที่แม่นยำ, การวิเคราะห์ลักษณะพื้นผิวอัตโนมัติ, การปรับเปลี่ยน/กระตุ้นพื้นผิวอัตโนมัติ, การจัดการวัตถุนาโนอัตโนมัติ, กระบวนการทางนาโนเทคโนโลยีของการประกอบแบบ "จากล่างขึ้นบน", การควบคุมแบบประสานงานของหัววัดวิเคราะห์และเทคโนโลยีในเครื่องมือแบบหลายหัววัด, การควบคุมเครื่องประกอบอะตอม/โมเลกุล , การควบคุมการพิมพ์นาโนด้วย หัววัด เป็นต้น

• การสแกนย้อนกลับ
• การกำหนดตำแหน่งตามคุณลักษณะ

• การสแกนแบบเน้นคุณลักษณะ , ส่วนงานวิจัย, หน้าส่วนตัวของ Lapshin เกี่ยวกับ SPM และนาโนเทคโนโลยี