ฮาร์มสท์
HARMSTเป็นคำย่อของเทคโนโลยีโครงสร้างจุลภาคที่มีอัตราส่วนความสูง ต่อความกว้าง สูงซึ่งอธิบายถึงเทคโนโลยีการผลิตที่ใช้ในการสร้างโครงสร้างจุลภาคที่ มี อัตราส่วนความ สูงต่อความกว้างสูง [ 1 ]โดยมีความสูงระหว่างหลายสิบไมโครเมตรจนถึงหนึ่งเซนติเมตร และอัตราส่วนความสูงต่อความกว้างมากกว่า 10:1 ตัวอย่างเช่นกระบวนการผลิตLIGA การกัดซิลิคอนขั้นสูงและการกัดไอออนแบบปฏิกิริยาลึก