เซ็นเซอร์ MEMS แต่ละรุ่นแสดงถึงความก้าวหน้าในเทคโนโลยีไมโครเซ็นเซอร์และสามารถแบ่งประเภทได้ดังนี้:

รุ่นที่ 1

องค์ประกอบเซ็นเซอร์MEMS ส่วนใหญ่มี ^{พื้นฐาน} มาจากโครงสร้าง ซิลิคอนบางครั้งรวมเข้ากับ การขยาย สัญญาณอนาล็อกบนไมโครชิป [ ^{1 ]}

รุ่นที่ 2

องค์ประกอบเซ็นเซอร์ MEMS ที่รวมเข้ากับการขยายสัญญาณแบบอนาล็อกและตัวแปลงอนาล็อกเป็นดิจิทัลไว้ในไมโครชิปเดียว

รุ่นที่ 3

การรวมองค์ประกอบเซ็นเซอร์เข้ากับการขยายสัญญาณแบบอนาล็อก ตัวแปลงอนาล็อกเป็นดิจิทัล และ ระบบอัจฉริยะ ดิจิทัลสำหรับการปรับให้เป็นเส้นตรงและการชดเชยอุณหภูมิไว้ในไมโครชิปเดียวกัน

รุ่นที่ 4

มีการเพิ่มเซลล์หน่วยความจำสำหรับข้อมูลการสอบเทียบและการชดเชยอุณหภูมิเข้าไปในส่วนประกอบของเซ็นเซอร์ MEMS รุ่นที่ 3