การสแกนแบบไมโครเป็นวิธีการเพิ่มความละเอียดของกล้องดิจิทัลโดยใช้การสุ่มตัวอย่างสีแบบโคไซต์ (color co-site sampling)พิกเซลที่มีสีเดียวกันในหลายเฟรมของชิ้นงาน ซึ่งได้จากการเคลื่อนเซ็นเซอร์ด้วย กลไก เพียโซใน รูป แบบแรสเตอร์ ปกติ จะถูกรวมเข้าด้วยกันจนได้ภาพที่คมชัด อย่างไรก็ตาม ตัวตรวจจับสามารถเคลื่อนที่ ได้ เพียงเศษส่วนของระยะ ห่างระหว่างจุด (dot pitch ) ด้วยวิธีนี้ พื้นที่ว่างระหว่างพิกเซลของเซ็นเซอร์ก็จะถูกสแกนด้วย และจำนวนพิกเซลในภาพสุดท้ายก็จะเพิ่มขึ้น การเคลื่อนที่สามตำแหน่งบนแกน x และ y จะเพิ่มขนาดภาพขึ้น 9 เท่า เช่น จากขนาดทั่วไป 1388 x 1040 พิกเซล เป็น 4164 x 3120 พิกเซล (ดูตัวอย่างจากซีรี่ส์ Sony ICX285 ) ในขณะเดียวกันการสุ่มตัวอย่างสีแบบโคไซต์ ที่ใช้จะช่วยให้มั่นใจได้ว่าสีที่ได้จะมีความถูกต้องแม่นยำที่ ความหนาแน่นของพิกเซลระดับนั้น

ความละเอียดเชิงพื้นที่ จะเพิ่มขึ้นตามไปด้วย หรือไม่นั้นขึ้นอยู่กับความละเอียดเชิงแสงของระบบโดยรวม พารามิเตอร์ที่เกี่ยวข้องคือ กำลังการแยกภาพ กล่าวคือ สามารถแยกเส้นได้กี่เส้นต่อมิลลิเมตร ซึ่งจะเพิ่มขึ้นตามขนาดรูรับแสงของระบบออปติคอล และแปรผกผันกับกำลังขยาย ดังนั้น กล้องที่มีความละเอียดต่ำที่ 500 เส้นก็เพียงพอสำหรับเลนส์กำลังขยาย 100X ที่มีรูรับแสง 0.9 ในทางกลับกัน เลนส์กำลังขยายต่ำจะได้รับประโยชน์สูงสุดจากการสแกนระดับไมโคร ตัวอย่างเช่น สำหรับเลนส์กำลังขยาย 2.5X ที่มี NA=0.12 สามารถใช้กล้องที่มีความละเอียดสูงถึง 2500 เส้นได้

• การสแกนด้วยกล้องจุลทรรศน์: มันทำงานอย่างไร?
• ซีรีส์ Sony ICX285