ไมโครวาล์วเป็นวาล์ว ขนาดเล็กมาก หรือก็คือส่วนประกอบสองพอร์ตในระบบไมโครฟลูอิดิก ที่ควบคุมการไหลระหว่างพอร์ตของของเหลวสองพอร์ต ไมโครวาล์วเป็นส่วนประกอบพื้นฐานในอุปกรณ์ไมโครฟลูอิดิก เช่น แล็บออนอะชิป (labs-on-a-chip ) ซึ่งใช้ในการควบคุมการขนส่งของของเหลว ในช่วงปี 1995 ถึง 2005 มีการพัฒนาไมโครวาล์วที่ใช้ ระบบไมโครอิเล็กโทรเมคานิกส์ ( MEMS) จำนวนมาก

ไมโครวาล์วที่พบในปัจจุบันสามารถแบ่งประเภทคร่าวๆ ได้เป็น ไมโครวาล์ว แบบแอคทีฟและ ไมโครวาล์ว แบบพาสซีฟโดยพิจารณาจากตัวกลางที่ควบคุม ไมโครวาล์วสามารถแบ่งออกเป็นไมโครวาล์วก๊าซและไมโครวาล์วของเหลว โดยพิจารณาจากโหมดเริ่มต้น ไมโครวาล์วสามารถแบ่งออกเป็นไมโครวาล์วแบบเปิดปกติ แบบปิดปกติ และแบบไบสเตเบิล^{[ 1 ]}

ไมโครวาล์วเชิงกลแบบแอคทีฟประกอบด้วยโครงสร้างเมมเบรนหรือบอสที่เคลื่อนที่ได้ด้วยกลไก ซึ่งเชื่อมต่อกับวิธีการกระตุ้นที่สามารถปิดรูเปิดได้ จึงปิดกั้นเส้นทางการไหลระหว่างพอร์ตทางเข้าและทางออก ตัวกระตุ้นอาจเป็นไมโครแอคทูเอเตอร์ แบบแม่เหล็ก ไฟฟ้าสถิต ^{[ 2 ] [ 3 ]}เพียโซอิเล็กทริก[ ^{4 ] หรือ}ความร้อน^{[ 5 ]}การเปลี่ยนเฟสแบบ "อัจฉริยะ" เช่นโลหะผสมหน่วยความจำรูปร่าง^{[ 6 ]}หรือ วัสดุ รีโอโลจีหรือกลไกการกระตุ้นที่ใช้จากภายนอก เช่น สนามแม่เหล็กภายนอกหรือแหล่งกำเนิดลม

วาล์วขนาดเล็กแบบพาสซีฟ คือ วาล์วที่สถานะการทำงาน เช่น เปิดหรือปิด ถูกกำหนดโดยของเหลวที่ควบคุม วาล์วขนาดเล็กแบบพาสซีฟที่พบได้บ่อยที่สุด ได้แก่ วาล์วแบบแผ่นพับ วาล์วขนาดเล็กแบบเมมเบรน และวาล์วขนาดเล็กแบบลูกบอล

การควบคุมการไหลของก๊าซด้วยไมโครวาล์ว MEMS มีข้อดีทั่วไปดังต่อไปนี้: การรวมกลไกการทำงานเข้ากับส่วนประกอบไมโครวาล์วอื่นๆ ช่วยให้สามารถย่อขนาดส่วนประกอบได้ และขนาดที่เล็กของส่วนประกอบส่งผลให้เวลาตอบสนองรวดเร็วและการใช้พลังงานต่ำ อย่างไรก็ตาม แม้ว่าเทคโนโลยีระบบไมโครอิเล็กโทรเมคานิกส์ (MEMS) จะมีศักยภาพในการผลิตจำนวนมากอย่างมีประสิทธิภาพด้านต้นทุน แต่ไมโครวาล์วก๊าซก็ยังไม่สามารถบรรลุอัตราส่วนต้นทุนต่อประสิทธิภาพที่สำคัญซึ่งจำเป็นสำหรับการนำเทคโนโลยีนี้ไปใช้อย่างกว้างขวาง^{[ 7 ]}

โดยทั่วไป วาล์วกันกลับส่วนใหญ่จะถูกติดตั้งที่ทางเข้าและทางออกของปั๊ม ขนาดเล็กแบบลูกสูบ ซึ่งทำหน้าที่ปรับทิศทางการไหลของของเหลวเพื่อให้ปั๊มมีอัตราการไหลสุทธิในทิศทางเดียว