เมื่อวันที่ 1 เมษายน พ.ศ. 2492 คาร์ล ซูสส์ ซึ่งขณะนั้นอายุ 47 ปี ได้ก่อตั้งบริษัทKarl Süss KGและในฐานะตัวแทนขายประจำ แคว้นบา วาเรีย เขาได้เข้ามารับช่วงการจัดจำหน่ายอุปกรณ์ทางแสง ( กล้องจุลทรรศน์กล้องถ่ายรูปและอุปกรณ์ห้องปฏิบัติการ) จากบริษัท Ernst Leitz GmbH ^{[ 5 ] [ 6 ]}ด้วยความเชี่ยวชาญทางเทคนิคที่เพิ่มขึ้น บริษัทได้พัฒนาจากบริษัทขายอย่างเดียวที่มีพนักงาน 5 คน ไปเป็นผู้ผลิตตามสัญญา^{[ 7 ]}

ในปี พ.ศ. 2506 Süss ได้รับมอบหมายจากSiemensให้พัฒนาอุปกรณ์โฟโตลิโทกราฟี แบบง่ายๆ งานนี้เกี่ยวข้องกับโต๊ะวัดขนาดเล็กที่มีกล้องจุลทรรศน์สเตอริโอที่เชื่อมติดกัน สำหรับ Siemens นั้น Süss ได้พัฒนาต้นแบบเครื่องจัดตำแหน่งหน้ากาก MJB3 เครื่องแรก ซึ่งเป็นเครื่องมือจัดตำแหน่งหน้ากากสำหรับการฉายแสงโฟโตลิโทกราฟี^{[ 8 ]}งานนี้ถือเป็นก้าวแรกของบริษัทในการเข้าสู่ อุตสาหกรรม เซมิคอนดักเตอร์ซึ่งต่อมากลายเป็นตลาดหลักของบริษัท^{[ 9 ]}ในปี พ.ศ. 2511 บริษัทได้ย้ายการผลิตและพนักงาน 30 คนไปยังเมือง Garching ^{[ 7 ]}

ด้วยการพัฒนาของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ Süss เริ่มผลิตเครื่องสลักเพชรและเครื่องเคลือบแบบหมุนในปี 1974 เครื่องจัดตำแหน่งหน้ากากเครื่องแรกที่ช่วยให้การฉายแสงสองด้านมีความแม่นยำระดับไมโครเมตรได้รับการพัฒนาขึ้นที่ Süss ^{[ 10 ]}บริษัทซึ่งมีชื่อเสียงในด้านโฟโตลิโทกราฟีในภาคการวิจัยและพัฒนาอยู่แล้ว ตอนนี้ยังมุ่งเน้นไปที่ลูกค้าจากอุตสาหกรรมการผลิตด้วย ในปี 1975 MJB55 กลายเป็นเครื่องจัดตำแหน่งหน้ากากเครื่องแรกที่พัฒนาขึ้นสำหรับการผลิตจำนวนมาก^{[ 7 ]}

ในช่วงทศวรรษ 1980 Süss ได้ขยายธุรกิจไปต่างประเทศ โรงงานต่างประเทศแห่งแรกก่อตั้งขึ้นในปี 1980 ในสหรัฐอเมริกาที่เมืองวอเตอร์เบอรีรัฐเวอร์มอนต์ ในเวอร์มอนต์ บริษัทได้เริ่มผลิตเครื่องเชื่อมเวเฟอร์ในปริมาณมาก ต่อมาในปี 1983 ได้มีการก่อตั้งบริษัทสาขาในเอเชียขึ้นที่ประเทศไทย ตามด้วยสำนักงานขายในญี่ปุ่น จีน และไต้หวัน นอกจากนี้ บริษัทยังได้บุกเบิกเข้าสู่สาขาเฉพาะทางอย่าง การพิมพ์หินด้วยรังสีเอ็กซ์แบบสเต็ปเปอร์อีกด้วย^{[ 7 ]}

ในปี พ.ศ. 2532 Süss ได้พัฒนาเครื่องเชื่อมซับสเตรตเครื่องแรกเพื่อตอบสนองความต้องการที่เพิ่มขึ้นสำหรับไมโครซิสเต็ม^{[ 7 ]}ในเทคโนโลยีไมโครซิสเต็ม เครื่องเชื่อมซับสเตรตช่วยให้สามารถเชื่อมวัสดุต่างชนิดกันเข้ากับพื้นผิวที่มีโครงสร้างได้ ตั้งแต่ปี พ.ศ. 2525 มีความร่วมมือทางธุรกิจระหว่าง Süss และVEB Elektromat Dresden ในGDRหลังจากที่ GDR สิ้นสุดลง บริษัทลูกKarl-Süss-Dresden GmbHได้ก่อตั้งขึ้นในเดือนกันยายน พ.ศ. 2533 ร่วมกับอดีตผู้อำนวยการ VEB Reinhard Welsch โดยมีฐานอยู่ที่Sackaใกล้กับเดรสเดนซึ่งต่อมาได้มีการผลิตสินค้าให้กับ Süss ที่นั่น^{[ 11 ]}

ในปี 1993 Süss ได้ขยายกลุ่มผลิตภัณฑ์ด้วยการเข้าซื้อกิจการบริษัท SET ของฝรั่งเศส ซึ่งผลิตเครื่องเคลือบแบบหมุนและเครื่องเชื่อมอุปกรณ์ ในบริบทนี้ Süss ได้เพิ่มเครื่องเชื่อมอุปกรณ์เข้าไปในกลุ่มผลิตภัณฑ์ของตน^{[ 7 ]}ในปี 1994 Karl Süss ผู้ก่อตั้งบริษัทและ Ekkehard Süss บุตรชายคนโตของเขาได้เสียชีวิตลงอย่างต่อเนื่อง การจ่ายเงินให้กับบุตรของ Ekkehard Süss ในเวลาต่อมาทำให้ครอบครัว Süss ต้องสละสิทธิ์การถือหุ้นส่วนใหญ่ในบริษัท อย่างไรก็ตาม Winfried Süss บุตรชายคนที่สองของ Karl Süss ยังคงเป็นตัวแทนของครอบครัวในคณะกรรมการกำกับดูแลจนถึงปี 2008 ^{[ 6 ]}ในปี 1999 บริษัทโฮลดิ้งของกลุ่ม Süss ได้เข้าจดทะเบียนในตลาดหลักทรัพย์ในชื่อ Süss Microtec AG ^{[ 7 ]}

ต่อมาในปี 1999 Convac ^{[ 12 ]} (ขายโดยFairchild Semiconductor ) และFairchild Technologiesถูกเพิ่มเข้ามาเป็นบริษัทในเครือ^{[ 13 ]}ซึ่งทำให้บริษัทสามารถบูรณาการระบบเคลือบผิวเข้ากับผลิตภัณฑ์ของตนได้ การเข้าซื้อกิจการ Fairchild Technologies ทำให้บริษัทเข้าสู่ตลาดระดับบนด้วยระบบเคลือบผิวในปี 2000 ตามมาด้วยการเข้าซื้อกิจการImage Technology ในปี 2001 และเริ่มตั้งแต่ปี 2002 Süss Microtec เข้าสู่ธุรกิจไมโครออปติกส์ด้วยบริษัทในเครือที่ก่อตั้งขึ้นใหม่ชื่อSuss MicroOpticsซึ่งตั้งอยู่ในเมือง Neuchâtelประเทศ ส วิตเซอร์แลนด์^{[ 14 ]}

ในปี พ.ศ. 2550 แผนกผลิตภัณฑ์การเชื่อมอุปกรณ์ถูกยกเลิกและขายให้กับบริษัท SETSAS ของฝรั่งเศส ซึ่งเป็นส่วนหนึ่งของการซื้อกิจการโดยฝ่ายบริหาร^{[ 15 ]}ในช่วงปลายทศวรรษ พ.ศ. 2543 ได้มีการเปิดสำนักงานใหม่ในสิงคโปร์และเกาหลีใต้^{[ 7 ]}

ทศวรรษ 2010 โดดเด่นด้วยความผันผวนในตลาดอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เพื่อตอบสนองต่อสถานการณ์ดังกล่าว บริษัทจึงเปลี่ยนกลยุทธ์ทางธุรกิจและมุ่งเน้นไปที่ความสามารถหลักของตนเอง รวมถึงการเข้าซื้อกิจการ ในปี 2010 Süss Microtec ได้เข้าซื้อกิจการHamaTech APEซึ่งเป็นผู้ผลิตอุปกรณ์สำหรับเทคโนโลยีการประมวลผลโฟโตมาสก์^{[ 16 ] [ 17 ]}ในปี 2012 Süss Microtec ได้เข้าซื้อ กิจการ Tamarack Scientificซึ่งตั้งอยู่ในเมืองโคโรนารัฐแคลิฟอร์เนียบริษัทที่พัฒนา ผลิต และทำการตลาดเทคโนโลยีการประมวลผลด้วยเลเซอร์สำหรับการถ่ายโอนโครงสร้างขนาดเล็ก^{[ 7 ] [ 18 ]}

ในขณะเดียวกันก็มีการขายกิจการหลายครั้ง ในปี 2010 บริษัทสาขาในเมืองแซกซอนแห่งแซกโซนี^{[ 19 ]}ซึ่งเพิ่งผลิตระบบทดสอบไมโครคอมโพเนนต์เสร็จ ได้ถูกขายให้กับบริษัทอเมริกันCascade Microtech [ ^{20 ] [ 21 ] ใน}ปีเดียวกันนั้น การผลิตเครื่องเชื่อมซับสเตรตถูกย้ายจากวอเตอร์เบอรีไปยังไซต์สเติร์นเนนเฟลส์ที่ได้มาจากการซื้อกิจการ Hamatech APE ตั้งแต่นั้นเป็นต้นมา ระบบเคลือบ เครื่องเชื่อม และระบบประมวลผลโฟโตมาสก์ก็ถูกผลิตในโรงงานเดียวกัน^{[ 22 ]}ในปี 2011 บริษัทสาขาอเมริกันMicroTec Precision Photomask Inc. ซึ่ง ตั้งอยู่ในพาโลอัลโตและทำงานเกี่ยวกับโฟโตมา สก์ ได้ถูกขายให้กับบริษัทสาขาของบริษัทอเมริกันOM Group ^{[ 23 ]}

Süss Microtec ขยายกำลังการผลิตในปี 2020 ด้วยโรงงานผลิตแห่งใหม่ในไต้หวัน^{[ 24 ]}นอกจากนี้ ในปีเดียวกันนั้น บริษัทยังได้เพิ่มเทคโนโลยีอีกอย่างหนึ่งเมื่อเข้าซื้อกิจการPiXDRO ซึ่งเป็นหน่วยธุรกิจการพิมพ์อิงค์เจ็ทของ Meyer Burgerผู้ผลิตอุปกรณ์พลังงานแสงอาทิตย์^{[ 25 ]}

จากผลของ การเติบโตอย่างรวดเร็ว ของ AIตั้งแต่ปี 2023 Süss Microtec ประสบกับการเพิ่มขึ้นอย่างมีนัยสำคัญของรายได้และมูลค่าตลาด เนื่องจากบริษัทเป็นส่วนหนึ่งของห่วงโซ่อุปทานที่ขยายออกไปของNvidia ซึ่งเป็นผู้นำตลาด ส่งผลให้บริษัทต้องเพิ่มกำลังการผลิต^{[ 26 ]}

Suss MicroOpticsซึ่งเป็นบริษัทย่อยสำหรับเลนส์ไมโครออปติกที่ก่อตั้งขึ้นในปี 2545 ถูกขายให้กับFocuslight Technologies Inc.ในปี 2567 วัตถุประสงค์ของการขาย ตามที่ Süss Microtec ระบุ คือการมุ่งเน้นไปที่ธุรกิจหลักด้านอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์^{[ 27 ]}นอกจากนี้ บริษัทยังเปลี่ยนชื่อจากSÜSS MicroTec SEเป็นSUSS MicroTec SEในปี 2567 เพื่อกำจัดเครื่องหมายอุมเลาต์ ออกไป เนื่องจากการดำเนินงานในระดับนานาชาติSUSSถูกนำมาใช้เป็นแบรนด์ใหม่^{[ 28 ] [ 29 ]}

บริษัทสาขาในเยอรมนีของบริษัทแม่ Suss MicroTec SE (ณ สิ้นปี 2024) ได้แก่: ^{[ 2 ]}

• บริษัท ซัสส์ ไมโครเทค โซลูชั่นส์ จำกัด แอนด์ โค.เคจี สเติร์นเนนเฟลส์
• อุปกรณ์โฟโต้มาสก์ Suss MicroTec Beteiligungs-GmbH, Sternenfels

บริษัทสาขาระหว่างประเทศของ Suss Microtec (ณ สิ้นปี 2024) ได้แก่: ^{[ 2 ]}

• บริษัท ซัสส์ ไมโครเทค จำกัด, มาร์เก็ต ราเซน , สหราชอาณาจักร
• Suss MicroTec KK, โยโกฮาม่า , ญี่ปุ่น
• Suss MicroTec SAS, ปิแอร์-เบนิต์ , ฝรั่งเศส
• บริษัท ซัสส์ ไมโครเทค อิงค์, โคโรนา , สหรัฐอเมริกา
• บริษัท ซัสส์ ไมโครเทค (ไต้หวัน) จำกัด เมืองซินจู ประเทศไต้หวัน
• บริษัท ซัสส์ ไมโครเทค จำกัดเซี่ยงไฮ้ประเทศจีน
• บริษัท ซัสส์ ไมโครเทค (สิงคโปร์) จำกัด ประเทศสิงคโปร์
• บริษัท ซัสส์ ไมโครเทค โคเรีย จำกัด เมืองฮวาซองประเทศเกาหลีใต้
• บริษัท ซัสส์ ไมโครเทค เนเธอร์แลนด์ บีวี, ไอนด์โฮเฟน , เนเธอร์แลนด์