อาร์เรย์อิเล็กโทรด

ชุดอิเล็กโทรดคือการจัดเรียงอิเล็กโทรดที่ใช้สำหรับวัดกระแสไฟฟ้าหรือแรงดันไฟฟ้าชุดอิเล็กโทรดบางชุดสามารถทำงานได้แบบสองทิศทาง กล่าวคือ สามารถใช้เพื่อสร้างรูปแบบการกระตุ้นด้วยกระแสไฟฟ้าหรือแรงดัน ไฟฟ้าได้ ด้วย
อาร์เรย์ทั่วไปได้แก่:
- ชลัมเบอร์เกอร์ (เวนเนอร์)
- เวนเนอร์อัลฟา
- เวนเนอร์ เบต้า
- เวนเนอร์ แกมมา
- เสา-เสา
- ไดโพล-ไดโพล
- ขั้ว-ไดโพล
- ไดโพล-ไดโพลบริเวณเส้นศูนย์สูตร
ความต้านทาน
การวัด ค่าความต้านทานของวัสดุจำนวนมากเป็นการประยุกต์ใช้อาร์เรย์อิเล็กโทรดบ่อยครั้ง รูปแสดงอาร์เรย์เวนเนอร์ ซึ่งเป็นหนึ่งในวิธีที่เป็นไปได้ในการดำเนินการนี้[ 1 ]การฉีดกระแสไฟฟ้าผ่านอิเล็กโทรดที่แยกจากอิเล็กโทรดที่ใช้ในการวัดศักย์มีข้อดีคือช่วยขจัดความไม่แม่นยำที่เกิดจากความต้านทานของวงจรการฉีด โดยเฉพาะอย่างยิ่งความต้านทานการสัมผัสระหว่างโพรบกับพื้นผิว ซึ่งอาจสูงได้ สมมติว่าวัสดุเป็นเนื้อเดียวกัน ค่าความต้านทานในอาร์เรย์เวนเนอร์จะกำหนดโดย:
ที่ไหนคือระยะห่างระหว่างหัววัด
อาร์เรย์อิเล็กโทรดถูกใช้กันอย่างแพร่หลายในการวัดความต้านทานในงานด้านธรณีฟิสิกส์[ 1 ]นอกจากนี้ยังใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์เพื่อวัดความต้านทานของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน ซึ่งสามารถใช้เป็นตัววัดการเจือปนที่ใช้กับเวเฟอร์ก่อนที่จะดำเนินการผลิตต่อไป[ 2 ]
ดูเพิ่มเติม
อ่านเพิ่มเติม
- Loke, Meng Heng (2004-07-26) [1996]. บทช่วยสอน: การสำรวจภาพไฟฟ้าแบบ 2 มิติและ 3 มิติเก็บถาวรจากต้นฉบับ(PDF)เมื่อ 2007-09-27 เรียกดูเมื่อ2007-06-11