Plasma processing
การประมวลผลพลาสม่า
อ่าน 1 นาทีการกัดด้วยไอออนแบบรีแอคทีฟ
Etching (microfabrication)การกัดด้วยไอออนแบบรีแอคทีฟ (Reactive-ion etchingหรือRIE ) เป็น เทคโนโลยี การกัดที่ใช้ใน กระบวนการ ผลิตระดับไมโคร RIE เป็นการกัดแบบแห้งซึ่งมีลักษณะแตกต่างจากการกัดแบบเปียก RIE...
อ่าน 1 นาทีการแปรสภาพเป็นแก๊สด้วยพลาสมา
Plasma processingการทำให้เป็นแก๊สด้วยพลาสมาเป็นกระบวนการทางความร้อนที่เปลี่ยนสารอินทรีย์ให้เป็นซินแก๊ส (ก๊าซสังเคราะห์)
อ่าน 1 นาทีการตกตะกอนแบบสปัตเตอร์
CS1 German-language sources (de)การตกตะกอนแบบสปัตเตอร์ (Sputter deposition ) เป็น วิธีการสร้าง ฟิล์มบางแบบหนึ่ง โดย ใช้ไอระเหยทางกายภาพ (Physical Vapor Deposition : PVD)...
อ่าน 1 นาทีการพอลิเมอไรเซชันพลาสมา
Chemical processesการพอลิเมอ ไรเซชันด้วยพลาสมา (หรือการพอลิเมอไรเซชันด้วยการปล่อยประจุเรืองแสง ) ใช้แหล่งกำเนิดพลาสมาเพื่อสร้างการปล่อยประจุแก๊สซึ่งให้พลังงานในการกระตุ้นหรือแยกโมโนเมอร์ที่เป็นแก๊สห...
อ่าน 1 นาทีการตกตะกอนไอสารเคมี
Chemical processesการตกตะกอนไอสารเคมี ( CVD ) เป็น วิธีการตกตะกอน ฟิล์มบางที่ใช้ในการผลิตวัสดุแข็งคุณภาพสูงและประสิทธิภาพสูง...
อ่าน 1 นาทีการไนไตรดิ้ง
CS1 German-language sources (de)การไนไตรดิ้งเป็น กระบวนการ อบชุบความร้อนที่แพร่ไนโตรเจนเข้าไปในพื้นผิวของโลหะเพื่อสร้าง พื้นผิว ที่แข็งขึ้นกระบวนการเหล่านี้มักใช้กับเหล็กกล้าอัลลอยต่ำ นอกจากนี้ยังใช้กับไทเทเนียม.
การเผาด้วยพลาสมา
Materials science stubsในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์การกำจัดเถ้าด้วยพลาสมาเป็นกระบวนการกำจัดโฟโตเรซิสต์ (สารเคลือบไวแสง) ออกจาก เวเฟอร์ที่ถูก กัด ด้วยสารเคมี โดยใช้แหล่งกำเนิดพลาสมา จะสร้างสาร...
อ่าน 1 นาทีการประมวลผลด้วยพลาสมา
Plasma processingการประมวลผลด้วยพลาสมาเป็น เทคโนโลยีการประมวลผลวัสดุโดยใช้ พลาสมาซึ่งมีจุดมุ่งหมายเพื่อปรับเปลี่ยนคุณสมบัติทางเคมีและทางกายภาพของพื้นผิว
อ่าน 1 นาทีการเผาผนึกด้วยพลาสมาประกายไฟ
Industrial processesการเผาผนึกด้วยพลาสมาประกายไฟ ( SPS ) หรือที่รู้จักกันในชื่อเทคนิคการเผาผนึกด้วยสนามไฟฟ้า ( FAST ) หรือการเผาผนึกด้วยกระแสไฟฟ้าแบบพัลส์ ( PECS ) หรือการอัดด้วยแรงดันพลาสมา ( P2C )..