การประมวลผลด้วยความร้อนจากรังสีอัลตราไวโอเลต
ในกระบวนการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์กระบวนการให้ความร้อนด้วยรังสีอัลตราไวโอเลต ( UVTP ) คือกระบวนการใช้แสงอัลตราไวโอเลตเพื่อทำให้ฟิล์มไดอิเล็กทริก ซึ่งใช้เป็นฉนวนสำหรับสารกึ่งตัวนำมีความเสถียร
คำอธิบาย
ฟิล์ม เซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องมีค่าคงที่ไดอิเล็กตริกต่ำ (ค่า k) เพื่อให้ ได้ ค่าการนำความร้อน ที่เหมาะสมที่สุด เพื่อให้มั่นใจได้ว่าเซมิคอนดักเตอร์สามารถปรับขนาดได้ ฟิล์มไดอิเล็กตริกแบบใหม่ที่ใช้เป็นฉนวนสำหรับชิปสมัยใหม่นั้นอาจเสียหายได้ง่าย ทำให้สูญเสียความสามารถในการเป็นฉนวน การบำบัดแบบพิเศษที่ใช้แสงอัลตราไวโอเลตช่วยปรับปรุงประสิทธิภาพของชิป[ 1 ] หลอดไฟทังสเตนฮาโลเจนเป็นแหล่งกำเนิดแสงที่ใช้สำหรับการประมวลผลความร้อนอย่างรวดเร็วแบบดั้งเดิม[ 2 ] [ 3 ]