ซิลิไซด์ เป็น สารประกอบทางเคมีชนิดหนึ่งที่เกิดจากการรวมตัวกันของซิลิคอนและธาตุ ที่มีค่าอิเล็กโทรโพสิทีฟ สูงกว่า

ซิลิคอนมีความเป็นบวกทางไฟฟ้ามากกว่าคาร์บอนในแง่ของคุณสมบัติทางกายภาพ ซิลิไซด์มีโครงสร้างใกล้เคียงกับโบริดมากกว่าคาร์ไบด์อย่างไรก็ตาม เนื่องจากความแตกต่างของขนาด ซิลิไซด์จึงไม่มีโครงสร้างเหมือนกับโบริดและคาร์ไบด์^{[ 1 ]}

พันธะในซิลิไซด์มีตั้งแต่โครงสร้างคล้ายโลหะที่เป็นตัวนำไป จนถึงพันธะ โควาเลนต์หรือไอออนิก ซิลิไซด์ของ โลหะที่ไม่ใช่โลหะทรานซิชันทั้งหมดได้รับการอธิบายไว้แล้ว ยกเว้นเบริลเลียมซิลิไซด์ใช้ในตัวเชื่อมต่อ^{[ 2 ]}

อะตอมซิลิคอนในซิลิไซด์สามารถจัดเรียงตัวได้หลายรูปแบบ:

• อะตอมซิลิคอนที่แยกได้: สื่อกระแสไฟฟ้า (หรือสารกึ่งตัวนำ) CrSi , MnSi , FeSi , CoSi , Cu ₅ Si , (V,Cr,Mn) ₃ Si , Fe ₃ Si , Mn ₃ Si , Mg ₂ (Si,Ge,Sn,Pb) , (Ca,Ru,Ce,Rh,Ir,Ni) ₂ Si
• คู่Si _{2 :} U ₃ Si ₂ , ซิลิไซด์ของแฮฟเนียมและทอเรียม
• ศรี₄ จัตุรมุข : Kศรี, Rbศรี, Csศรี
• โซ่ Si _n : USi, (Ti, Zr, Hf, Th, Ce, Pu)Si , CaSi, SrSi, YSi
• ชั้นซิลิคอน แบบระนาบหกเหลี่ยม คล้าย กราไฟต์ : β-USi ₂ซิลิไซด์ของแลนทาไนด์และแอคติไนด์ อื่นๆ
• ชั้นซิลิคอนหกเหลี่ยมลูกคลื่น: CaSi ₂
• โครงสร้างซิลิคอนสามมิติแบบเปิด: SrSi ₂ , ThSi ₂ , α-USi ₂

ซิลิไซด์ส่วนใหญ่ผลิตขึ้นโดยการรวมธาตุโดยตรง^{[ 1 ]} อย่างไรก็ตาม กระบวนการนี้คายความร้อน สูงมาก และควบคุมปฏิกิริยาได้ยาก ในบางกรณี โลหะออกไซด์สามารถเกิดการรีดิวซ์ด้วยซิลิโคบาริก ซึ่งซิลิโคบริสุทธิ์จะกำจัดออกซิเจนออกจากโลหะให้กลายเป็นซิลิโคออกไซด์ จากนั้นจึงกำจัดออกด้วยสุญญากาศ หรืออีกทางเลือกหนึ่ง อะลูมิเนียมหรือทองแดงหลอมเหลวเป็นตัวทำละลายที่เหมาะสมสำหรับการผสมโลหะ^{[ 3 ]}

สารซิลิไซด์ที่เตรียมโดยกระบวนการจัดเรียงตัวเองเรียกว่าซาลิไซด์กระบวนการนี้จะสร้างหน้าสัมผัสซิลิไซด์เฉพาะในบริเวณที่โลหะที่ตกตะกอน (ซึ่งหลังจากอบร้อนจะกลายเป็นส่วนประกอบโลหะของซิลิไซด์) สัมผัสโดยตรงกับซิลิคอน ดังนั้นกระบวนการนี้จึงเป็นการจัดเรียงตัวเอง โดยทั่วไปจะนำไปใช้ในกระบวนการ MOS/ CMOSสำหรับหน้าสัมผัสโอห์มิกของแหล่งกำเนิด ขั้วระบาย และเกตโพลีซิลิคอน

ซิลิไซด์กลุ่มที่ 1 และ 2 เช่น Na2Si _และ Ca2Si _ทำปฏิกิริยากับน้ำ ทำให้เกิดไฮโดรเจนและ/หรือซิเลน ในงานConsumer Electronics Show (CES) 2012 ได้มีการเปิดตัวเครื่องชาร์จโทรศัพท์มือถือที่มีความจุ 1kWh หรือ 3kWh ที่ปลอดภัยและเป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อม โดยใช้โซเดียมซิลิไซด์ที่ทำงานด้วยน้ำ สำหรับ 'ผู้ที่ใช้เวลาอยู่นอกพื้นที่ที่มีไฟฟ้าใช้' สามารถใช้น้ำได้ทุกประเภท รวมถึงน้ำเค็ม และยังสามารถใช้กับน้ำในแอ่งน้ำได้ ตราบใดที่น้ำนั้นไม่ข้นด้วยโคลนหรือตะกอนอื่นๆ^{[ 4 ]}

แมกนีเซียมซิลิไซด์ทำปฏิกิริยากับกรดไฮโดรคลอริกเพื่อให้ได้ซิเลน :

มก. ₂ศรี + 4 HCl → SiH ₄ + 2 MgCl ₂

ซิลิไซด์ กลุ่มที่ 1มีปฏิกิริยามากกว่า ตัวอย่างเช่น โซเดียมซิลิไซด์ Na₂Si _ทำปฏิกิริยากับน้ำอย่างรวดเร็วเพื่อให้ได้โซเดียมซิลิเกต_Na₂SiO₃และก๊าซ_{ไฮโดรเจน}รูบิเดียมซิลิไซด์เป็นสารไวไฟติดไฟได้เมื่อสัมผัสกับอากาศ^{[ 5 ]}

โดยทั่วไปแล้ว ซิ ลิไซด์ ของโลหะทราน ซิชัน จะไม่ทำปฏิกิริยากับสารละลายในน้ำ แต่เมื่อให้ความร้อนสูงมาก จะทำปฏิกิริยากับ โพแทสเซียมไฮดรอกไซด์ฟลูออรีนและคลอรีนส่วนปรอทแทลเลียมบิสมัทและตะกั่วจะไม่สามารถผสมกับซิลิคอนเหลว ได้

ฟิล์มบางซิลิไซด์มีการใช้งานในด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์เนื่องจากมีค่าการนำไฟฟ้าสูง เสถียรภาพทางความร้อน ความต้านทานการกัดกร่อน และความเข้ากันได้กับกระบวนการเวเฟอร์โฟโตลิโทกราฟี^{[ 6 ]}ตัวอย่างเช่น ซิลิไซด์ที่เกิดขึ้นบนชั้นของโพลีซิลิคอนเรียกว่าโพลีไซด์มักใช้เป็นวัสดุเชื่อมต่อในวงจรรวมเนื่องจากมีค่าการนำไฟฟ้าสูง^{[ 7 ]}ซิลิไซด์ที่เกิดขึ้นผ่านกระบวนการซาลิไซด์ยังใช้เป็น โลหะ ที่มีฟังก์ชันงาน ต่ำ ในหน้าสัมผัสโอห์มิกและชอตต์กี [ ^{8 ] โลหะ}ที่มีฟังก์ชันงานสูงมักไม่เหมาะสำหรับการใช้งานในรอยต่อโลหะ-เซมิคอนดักเตอร์โดยตรงเนื่องจากการตรึงระดับเฟอร์มิ ซึ่งศักยภาพของกำแพงชอตต์กีของรอยต่อจะถูกล็อกไว้ที่ประมาณ 0.7–0.8V ด้วยเหตุนี้ ไดโอดชอตต์กีแรงดันไปข้างหน้าต่ำและการเชื่อมต่อโอห์มิกระหว่างเซมิคอนดักเตอร์และโลหะจึงมักใช้ชั้นบางๆ ของซิลิไซด์ที่ส่วนต่อประสานโลหะ-เซมิคอนดักเตอร์

• นิกเกิลซิลิไซด์ , NiSi
• โซเดียมซิลิไซด์ , NaSi
• แมกนีเซียมซิลิไซด์, _Mg₂Si
• แพลทินัมซิลิไซด์ (PtSi) (ที่จริงแล้วแพลทินัมมีค่าอิเล็กโทรเนกาติวิตีสูงกว่าซิลิคอน)
• ไทเทเนียมซิลิไซด์ , TiSi ₂
• ทังสเตนซิลิไซด์ , WSi ₂
• สารกำจัดโมลิบดีนัม MoSi ₂
• เนปทูเนียมซิลิไซด์ , NpSi ₂

• สารประกอบไบนารีของซิลิคอน